電子束焊機(jī)加工的解決方案
來源:http://www.m262.cn/news_article?news_id=170 發(fā)布時間:2023-03-16
電子束焊機(jī)加工的解決方案
電子束焊機(jī)加工是在真空條件下,利用電流加熱陰極發(fā)射電子束,帶負(fù)電荷的電子束高速飛向陽極,途中經(jīng)加快極加快,并經(jīng)過電磁透鏡聚集,使能量密度十分會集,可以把一千瓦或更高的功率會集到直徑為5~10μm的斑駁上,獲得高達(dá)109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度,可使任何材料被沖擊部分的溫度,在百萬分之一秒時間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上,熱量還來不及向周圍擴(kuò)散,就已把局部材料瞬時熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深,
1)能量密度高電子束聚集點(diǎn)范圍小,能量密度高,適合于加工精微深孔和窄縫等。且加工速度快,效率高。
2)工件變形小電子束加工是一種熱加工,主要靠瞬時蒸騰,工件很少發(fā)生應(yīng)力和變形,并且不存在工具損耗。適合于加工脆性、耐性、導(dǎo)體、半導(dǎo)體、非導(dǎo)體以及熱敏性材料。
3)加工點(diǎn)上化學(xué)純度高 由于整個電子束加工是在真空度1.33×10-2~1.33×10-4 Pa的真空室內(nèi)進(jìn)行的,所以熔化時可以防止由于空氣的氧化作用所發(fā)生的雜質(zhì)缺點(diǎn)。適合于加工易氧化的金屬及合金材料,特別是要求純度高的半導(dǎo)體材料。
4)電子束焊機(jī)可控性好 電子束的強(qiáng)度和方位均可由電、磁的方法直接控制,便于實(shí)現(xiàn)自動化加工。