真空電子束焊接方法
來源：http://www.m262.cn/news_article?news_id=138 發(fā)布時間：2021-11-11
真空電子束焊接方法：真空電子束焊接工藝是將被焊工件置于真空環(huán)境中使用定向高速運動的 電子束流撞擊工件使動能轉化為熱能而使工件熔化進行焊接的辦法，由于電 子束高的能量密度使焊縫較窄，深寬比大，焊接應力和變形較小，在半導體 的濺射領域得到了廣泛的應用。
現有技術公開了一種焊接辦法，包含如下步驟（1）焊前預備清洗靶 材坯料和背板，并將其移至真空室內進行阻隔抽真空；（2）預熱焊縫；（3）實施第壹次真空電子束焊接；（4）把完成的靶材坯料組件進行真空保溫；（5）實施第貳次真空電子束焊接；（6）淬火對完成的耙材坯料組件取出真空室，進行急冷淬火。
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